Diseño Microelectrónico en FRH [por Facundo Larosa].pdf

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Acoplador direccional
Diseñando la estructura
Objetivos del diseño de la estructura
•Lograr un espacio entre
líneas mayor a las
incertidumbres del proceso
de micromaquinado
•Evitar que la estructura se
vuelva muy ancha
Vista en corte
